Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Statt mit sichtbarem Licht arbeitet ein Rasterelektronenmikroskop mit einem fein gebündelten Elektronenstrahl. Da Elektronen eine sehr viel kürzere Wellenlänge besitzen als Licht, lassen sich damit Auflösungen im Nanometerbereich erreichen — weit jenseits dessen, was ein Lichtmikroskop leisten kann.

Wie das Bild entsteht

Der Elektronenstrahl tastet die Probenoberfläche zeilenweise ab. Beim Auftreffen entstehen unter anderem Sekundärelektronen, rückgestreute Elektronen und charakteristische Röntgenstrahlung. Aus diesen Signalen wird Punkt für Punkt ein Bild der Oberfläche zusammengesetzt.

Was sich damit sichtbar machen lässt

• Sekundärelektronen: liefern detailreiche Topografie-Informationen.
• Rückstreuelektronen: zeigen Kontraste, die von der Materialzusammensetzung abhängen.
• Charakteristische Röntgenstrahlung: ermöglicht die chemische Elementanalyse der Probe.

Anwendungsfelder

REM wird u.a. in der Materialforschung, der Halbleiterindustrie, der Biologie und Medizin sowie in Geologie und Archäologie eingesetzt, überall dort, wo feinste Oberflächenstrukturen sichtbar gemacht werden müssen.